अन्वयः

महेश्वर: Mahesvara, गिरौ गत्वा having gone to the (himavat) mountain, तस्य (गिरेः) of that Himavat mountain's, उत्तरे in the northern, पार्श्वे side, हिमवत्प्रभवे born in the Himavat mountain, शृङ्गे on a peak, देव्या सह along with goddess Uma, तप: yogic practices, अतिष्ठत् performed.

M N Dutt

And having repaired to the north side of that mountain, Mahesvara along with the goddess became engaged in austerities on the peak Himavatprabhava.

Summary

"Mahesvara along with goddess Uma, went north of the Himavat mountain and performed penance on a peak.

पदच्छेदः

स	तद् (१.१)
गत्वा	गत्वा (√गम् + क्त्वा)
तप	तपस् (२.१)
आतिष्ठत्	आतिष्ठत् (√आ-स्था + शतृ, १.१)
पार्श्वे	पार्श्व (७.१)
तस्योत्तरे	तद् (६.१)–उत्तर (७.१)
गिरेः	गिरि (६.१)
हिमवत्प्रभवे	हिमवन्त्–प्रभव (७.१)
शृङ्गे	शृङ्ग (७.१)
सह	सह (अव्ययः)
देव्या	देवी (६.१)
महेश्वरः	महेश्वर (१.१)

छन्दः

अनुष्टुप् [८]

छन्दोविश्लेषणम्

१	२	३	४	५	६	७	८
स	ग	त्वा	त	प	आ	ति	ष्ठ
त्पा	र्श्वे	त	स्यो	त्त	रे	गि	रेः
हि	म	व	त्प्र	भ	वे	शृ	ङ्गे
स	ह	दे	व्या	म	हे	श्व	रः